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日本進(jìn)口YUTAKA高純度氣體用壓力調(diào)節(jié)器半導(dǎo)體制造用壓力控制設(shè)備L18H系列

更新時(shí)間：2024-05-07

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e-flow 高純度氣體壓力調(diào)節(jié)器旨在用于半導(dǎo)體工廠，是一種提高純度并最大限度地減少外部泄漏、顆粒和死區(qū)的產(chǎn)品。
它用于多種氣體，包括半導(dǎo)體工廠設(shè)施的氣瓶柜、連接裝置、閥箱以及設(shè)備制造商的集成單元。
該產(chǎn)品具有優(yōu)良的氣密性，非常適合特殊高壓氣體和有毒、腐蝕性的輸送。L系列：對(duì)焊接頭、外密封金屬結(jié)構(gòu)的產(chǎn)品。
R系列：閥體旋入式（NPT）規(guī)格、外部軟密封結(jié)構(gòu)的產(chǎn)品。焊接規(guī)范為承插焊。
D系列：將L、R系列與壓力控制部分組合而成的先導(dǎo)結(jié)構(gòu)電子控制壓力調(diào)節(jié)器。
U系列：特殊規(guī)格有機(jī)加工主體、對(duì)焊規(guī)格，外部密封采用金屬密封結(jié)構(gòu)。

L18H系列是一款1.5英寸塊式調(diào)壓器，符合SEMI標(biāo)準(zhǔn)，專為設(shè)備制造商的集成供氣系統(tǒng)而設(shè)計(jì)。另外，作為L(zhǎng)18產(chǎn)品的后繼產(chǎn)品，流量特性也得到了極大的改善。

主體焊接接頭規(guī)格也非常適合節(jié)省閥箱空間。

排放流量大約是之前產(chǎn)品 L18 系列的兩倍（相同的面對(duì)面尺寸）

隔膜外密封采用金屬密封。