日本進口YUTAKA半導體用壓力控制設(shè)備高純度氣體用調(diào)節(jié)器L20系列

更新時間：2024-05-07

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L20系列是專為高壓半導體工藝制造氣體而設(shè)計的產(chǎn)品?；窘Y(jié)構(gòu)是外部金屬密封和焊接接頭，使其成為具有優(yōu)異的外部泄漏和顆粒性能的產(chǎn)品。此外，我們還提供多種選擇來容納各種高純度氣體，使其成為氣瓶柜的理想選擇。

功能高壓

焊接規(guī)范金屬墊片配件調(diào)節(jié)閥結(jié)構(gòu)針型兼容氣體7種特殊高壓氣體

腐蝕性氣體有毒氣體

以外的氣體標準流量～60NL/分鐘

入口壓力 14.8MPa以下（最大19.6MPa）

調(diào)節(jié)壓力 Max.0.99MPa

（范圍規(guī)格：0-0.2MPa、0-0.4MPa、0-0.6MPa、0-0.99MPa）

氣源壓力波動入口壓力：每0.1MPa，調(diào)節(jié)壓力變化量0.00021MPa

承受壓力 22.2MPa（進口側(cè)）

CV值 0.09

工作溫度 -10~+40℃

外漏 1×10-11Pa·m3/s·He（真空法）

內(nèi)部容積 4.67cm（不含3個壓力表及接頭）