日本Anelva電離真空計(jì)高精度測量可遠(yuǎn)程控制

日本Anelva電離真空計(jì)高精度測量可遠(yuǎn)程控制 M-723HG/M-823HG/M-923HG 特點(diǎn)介紹

這是受歡迎的BA型電離真空計(jì)系列，配備了多種擴(kuò)展板，支持多種真空計(jì)。

標(biāo)準(zhǔn)配備了真空設(shè)備過程控制所需的遠(yuǎn)程控制功能和范圍保持功能。還備有可通過 CC-Link 進(jìn)行通信控制的類型。

M-823HG 高精度涵蓋從大氣壓到高真空的所有壓力。

壓力范圍自動切換

LCD 顯示屏顯示壓力和各種信息

豐富的外控功能，實(shí)現(xiàn)遠(yuǎn)程控制

標(biāo)準(zhǔn)配備 2 個設(shè)定點(diǎn)

日本Anelva電離真空計(jì)高精度測量可遠(yuǎn)程控制 M-723HG/M-823HG/M-923HG 特點(diǎn)介紹

型號名稱M-723HGM-823HGM-923HG

測量球UGD-1S BA 規(guī)球 BRG-1B寬量程BA規(guī)球 NIG-2F/NIG-2TF

裸離子規(guī)球 

壓力測量

范圍（Pa）5量程自動切換

10 -2 , 10 -3 , 10 -4 , 10 -5 , 10 -6 7量程自動切換

10 -0 , 10 -1 , 10 -2 , 10 -3 , 10 -4 , 10 -5 , 10 -6 8量程自動切換

10 -2 , 10 -3 , 10 -4 , 10 -5 , 10 -6 , 10 -7 , 10 -8 , 10 -9 

測量范圍切換自動切換（可保持量程） 

排氣柵極電流加熱方式 電子轟擊法 

燈絲開關(guān)可通過前面板和外部控制輸入進(jìn)行切換（M823HG 除外） 

燈絲保護(hù)如果壓力、離子電流或發(fā)射電流的波動范圍出現(xiàn)問題，它將自動關(guān)閉。 

模擬輸出D/A 輸出（尾數(shù) D/A 輸出、指數(shù) D/A 輸出、復(fù)合 D/A 輸出）

模擬原始輸出（靜電計(jì)輸出） 

輸入/輸出遠(yuǎn)程輸入 燈絲開/關(guān)輸入

脫氣開/關(guān)輸入

燈絲抑制輸入

量程保持 1 輸入

量程保持 2

輸入 燈絲開關(guān)

輸入 儀表 1/2 開關(guān)輸入（使用儀表選擇器選項(xiàng)時） 

 輸出 燈絲開/關(guān)輸出

脫氣開/關(guān)輸出

遠(yuǎn)程/本地輸出

設(shè)定點(diǎn)輸出（2 點(diǎn)）

儀表 1/2 選擇輸出（使用儀表選擇器選項(xiàng)時）

電源開/關(guān)輸出

燈絲 1/2 輸出

報(bào)警輸出