日本進(jìn)口Arrows晶圓邊緣視覺檢測設(shè)備高精度 ARROWS/日本 WEIM-6800A 這是盒式到盒式自動晶圓邊緣檢查機(jī)。每張檢查時間為 10 秒，節(jié)拍時間為 30 秒，實(shí)現(xiàn)了高吞吐量。機(jī)器人從25片晶圓存儲盒中一張一張取出晶圓，進(jìn)行自動對準(zhǔn)、檢查，然后將其存儲在晶圓盒中。易于操作。 可以自動檢查劃痕、異物、缺口和裂紋等缺陷。 我們在每張 30 秒內(nèi)（包括運(yùn)輸時間）進(jìn)行高速檢查。

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