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日本進(jìn)口HORIBA超純水二氧化硅分析儀濃度計(jì) HORIBA/堀場 SLIA-300超純水二氧化硅分析多項(xiàng)成果!新的緊湊和高靈敏度性能。
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日本進(jìn)口HORIBA超純水二氧化硅分析儀濃度計(jì) HORIBA/堀場 SLIA-300 特點(diǎn)介紹
超純水二氧化硅分析多項(xiàng)成果!
新的緊湊和高靈敏度性能。
超純水中的二氧化硅濃度對半導(dǎo)體/FPD 工藝中的產(chǎn)品精度和產(chǎn)量有重大影響。
我們將可靠地滿足1μg/L(1ppb)量級的測量要求。桌面型緊湊機(jī)身可在整個(gè)測量范圍內(nèi)進(jìn)行高靈敏度測量。
憑借其高速響應(yīng)和自診斷功能等豐富的基本性能,以及新的高靈敏度性能,有力支持半導(dǎo)體/FPD制造的純水工藝。
日本進(jìn)口HORIBA超純水二氧化硅分析儀濃度計(jì) HORIBA/堀場 SLIA-300 規(guī)格參數(shù)
高靈敏度、高重復(fù)性
一種新開發(fā)的細(xì)胞實(shí)現(xiàn)了可以處理低濃度的高靈敏度。
高速 5 分鐘測量可保證 0 至 2 µg/L 范圍內(nèi)的重復(fù)性為滿量程的 ±2%。
緊湊的桌面設(shè)計(jì)
新開發(fā)的電池實(shí)現(xiàn)了創(chuàng)新的緊湊設(shè)計(jì)。由于它是桌面型,因此可以適應(yīng)包括狹小空間在內(nèi)的各種安裝條件。也可以將其用作移動(dòng)設(shè)備。
試劑消耗減少1/5
通過采用改進(jìn)的反應(yīng)池,試劑消耗量減少至常規(guī)用量的1/5??娠@著降低試劑運(yùn)行成本。
最多可測量 6 個(gè)點(diǎn)(可選)
測量點(diǎn)可從1點(diǎn)到6點(diǎn)任意設(shè)定。支持使用單個(gè)設(shè)備進(jìn)行更多多點(diǎn)測量。
自診斷功能,監(jiān)控異常運(yùn)行
樣水、試劑注入、校準(zhǔn)異常、池溫監(jiān)測、光源異常等操作異常自診斷。如果出現(xiàn)錯(cuò)誤,將以文本形式發(fā)送一條消息并發(fā)出警告燈。
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