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日本filgen濺射/碳鍍膜機(jī)系統(tǒng)多功能高精度

日本filgen濺射/碳鍍膜機(jī)系統(tǒng)多功能高精度 12155-AB/12155E-AB

●節(jié)省空間/臺(tái)式濺射鍍膜機(jī)
●快速鍍膜(金鍍層在 20 秒內(nèi)電流可達(dá) 200A)——對(duì)樣品無熱損傷。
●可濺射/蝕刻
●可以通過移動(dòng)樣品臺(tái)來調(diào)整到目標(biāo)的距離。
●惰性氣體 - 輸入/輸出端口/可進(jìn)行樣品臺(tái)冷卻
●提供各種靶材(Au、Au/Pd、Pt、Pd、Ag)(可選)

  • 產(chǎn)品型號(hào):12155-AB/12155E-AB
  • 廠商性質(zhì):經(jīng)銷商
  • 更新時(shí)間:2024-10-11
  • 訪  問  量:306
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詳細(xì)介紹

日本filgen濺射/碳鍍膜機(jī)系統(tǒng)多功能高精度 12155-AB/12155E-AB 特點(diǎn)介紹


●節(jié)省空間/臺(tái)式濺射鍍膜機(jī)

●快速鍍膜(金鍍層在 20 秒內(nèi)電流可達(dá) 200A)——對(duì)樣品無熱損傷。

●可濺射/蝕刻

●可以通過移動(dòng)樣品臺(tái)來調(diào)整到目標(biāo)的距離。

●惰性氣體 - 輸入/輸出端口/可進(jìn)行樣品臺(tái)冷卻

● 提供各種靶材(Au、Au/Pd、Pt、Pd、Ag)(可選)

● CE、RoHS(有害物質(zhì)限制):符合歐盟有害物質(zhì)法規(guī) 

● 多種組合可實(shí)現(xiàn)多種選擇(*見下文) 

 例) ① 有蝕刻模式 ② 有膜厚監(jiān)視器 ③ 有蝕刻模式+膜厚監(jiān)視器 


日本filgen濺射/碳鍍膜機(jī)系統(tǒng)多功能高精度 12155-AB/12155E-AB 規(guī)格參數(shù)


模型 12155-AB 12155E-AB 12155Q-AB 12155EQ-AB 

類型 基本的 帶膜厚監(jiān)測(cè)儀 具有蝕刻模式和

膜厚監(jiān)視器 

電源 AC110V 50Hz(60Hz) 

配件 Au靶材厚度76μm/陰極57mmφ 

作品 真空控制基座單元 

碳涂層機(jī)模塊(帶碳纖維頭) 

濺射鍍膜機(jī)模塊 

― 晶體諧振器膜厚監(jiān)測(cè)器

*不能與碳鍍膜機(jī)一起使用。 


● 節(jié)省空間/臺(tái)式濺射鍍膜機(jī)

● 快速鍍膜(金鍍層在 20 秒內(nèi)電流可達(dá) 200A)——對(duì)樣品無熱損傷。

● 可濺射/蝕刻

● 可以通過移動(dòng)樣品臺(tái)來調(diào)整到目標(biāo)的距離。

● 惰性氣體 - 輸入/輸出端口/可進(jìn)行樣品臺(tái)冷卻

● 提供各種靶材(Au、Au/Pd、Pt、Pd、Ag)(可選)

● CE、RoHS(有害物質(zhì)限制):符合歐盟有害物質(zhì)法規(guī) 

● 多種組合可實(shí)現(xiàn)多種選擇(*見下文) 

 例) ① 有蝕刻模式 ② 有膜厚監(jiān)視器 ③ 有蝕刻模式+膜厚監(jiān)視器 


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