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日本DIC超純水電阻率值防靜電裝置槽清洗用

日本DIC超純水電阻率值防靜電裝置槽清洗用 eFLOW 2AC-P201

eFLOW Series是通過使用DIC自主開發(fā)的中空纖維透氣膜補(bǔ)充二氧化碳的方法控制超純水電阻率值的裝置。
可得到防止因靜電引起的 灰塵再次附著和基板圖形的防 靜電破壞的效果。

  • 產(chǎn)品型號(hào):eFLOW 2AC-P201
  • 廠商性質(zhì):經(jīng)銷商
  • 更新時(shí)間:2024-10-11
  • 訪  問  量:363
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詳細(xì)介紹

日本DIC超純水電阻率值防靜電裝置槽清洗用 eFLOW 2AC-P201 特點(diǎn)介紹


eFLOW Series是通過使用DIC自主開發(fā)的中空纖維透氣膜補(bǔ)充二氧化碳的方法控制超純水電阻率值的裝置。

可得到防止因靜電引起的 灰塵再次附著和基板圖形的防 靜電破壞的效果。


關(guān)于超純水防靜電裝置

• 由于結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單,故障少

• 采用的配管分配方式,易于控制電阻率值且穩(wěn)定性優(yōu)良


主要用途

• 掩模、網(wǎng)袋的清洗• 洗滌器清洗• 高壓噴射清洗• 切割工序的清洗• 槽清洗


日本DIC超純水電阻率值防靜電裝置槽清洗用 eFLOW 2AC-P201 規(guī)格參數(shù)


裝置原理

通過調(diào)整用二氧化碳溶解模組生成的二氧化碳飽和水和超純水的混合比率,可調(diào)節(jié)超純水的電阻率值。

CO2溶解原理

DIW在模組內(nèi)的中空纖維膜內(nèi)部流動(dòng)。其間,從中空纖維膜外側(cè)CO2溶入DIW內(nèi)。溶解的二氧化碳在DIW內(nèi)發(fā)生離子化,可使DIW具有導(dǎo)電性,消除靜電。由于使用微細(xì)中空纖維膜束,可以有效獲得二氧化碳溶解所需要的表面積。


eFLOW Series是通過使用DIC自主開發(fā)的中空纖維透氣膜補(bǔ)充二氧化碳的方法控制超純水電阻率值的裝置。

可得到防止因靜電引起的 灰塵再次附著和基板圖形的防 靜電破壞的效果。


關(guān)于超純水防靜電裝置

• 由于結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單,故障少

• 采用的配管分配方式,易于控制電阻率值且穩(wěn)定性優(yōu)良


主要用途

• 掩模、網(wǎng)袋的清洗• 洗滌器清洗• 高壓噴射清洗• 切割工序的清洗• 槽清洗



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