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日本syscom振動/位移分析裝置激光測量儀 MEMSMap 510 兼容高達(dá) 240MHz 的高頻可實時確認(rèn),包括相位信息 可從 1 nm 開始測量
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日本syscom振動/位移分析裝置激光測量儀 MEMSMap 510 特點介紹
Memsmap 510使用CCD相機和顯微鏡鏡頭對微小物體(0.1毫米或以上)進(jìn)行振動位移分析。
將激光照射到待測物體上,物體反射的激光與內(nèi)部參考激光之間會產(chǎn)生干涉條紋。使用高精度顯微鏡鏡頭和 CCD 相機通過圖像處理板將這些干涉條紋作為數(shù)字?jǐn)?shù)據(jù)捕獲到 PC 中。MEMSMAP可以使用兩種不同的方法來測量被測物體的振動和變形:實時模式和相位調(diào)制方法。
在實時模式下,振動和變形以重疊的條紋圖案(輪廓圖)顯示在物體圖像上。通過掃頻,可以輕松觀察共振點處的振動模式。此外,通過使用相位調(diào)制方法,可以以動畫或3D繪圖的形式顯示振動模式和位移模式,從而可以進(jìn)行出色的定量和定性振動和位移分析。
下圖顯示了尺寸為 3 x 3 mm 的硅膠膜在氣壓作用下變形時的位移模式。通過將條紋圖案實時重疊在測量對象上來顯示位移量,可以輕松確認(rèn)位移分析。
通過使用相位調(diào)制,測量靈敏度可提高至大約 1 nm。
日本syscom振動/位移分析裝置激光測量儀 MEMSMap 510 規(guī)格參數(shù)
下面的動畫是 14.3MHz 超聲波組件和 37MHz 石英晶體振動模式 3D 繪圖示例。
該 3D 圖還包含實際振動狀態(tài)的相位信息,通過將相位信息從 0 更改為 2π,您可以在動畫中檢查對象的振動狀態(tài)。
當(dāng)在振動測量中使用相位調(diào)制方法時,Micromap還控制被測物體的激勵頻率,可以測量約1納米的振動幅度和高達(dá)數(shù)百兆赫茲的頻率范圍。
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